目录
专辑序言
《光刻胶材料》专辑序言——光刻胶材料助力“中国芯”季生象;1027-1028
综合评述
先进光刻技术：导向自组装胡晓华;熊诗圣;1029-1078
光刻胶成膜剂：发展与未来朋小康;黄兴文;刘荣涛;张永文;张诗洋;刘屹东;闵永刚;1079-1090
g-线/i-线光刻胶研究进展顾雪松;李小欧;刘亚栋;季生象;1091-1104
193nm化学放大光刻胶研究进展李小欧;顾雪松;刘亚栋;季生象;1105-1118
光敏聚酰亚胺光刻胶研究进展郭海泉;杨正华;高连勋;1119-1137
高分辨率极紫外光刻胶的研究进展高佳兴;陈龙;玉佳婷;郭旭东;胡睿;王双青;陈金平;李嫕;杨国强;1138-1153
面向极紫外：光刻胶的发展回顾与展望崔昊;王倩倩;王晓琳;何向明;徐宏;1154-1167
上海光源极紫外光刻胶检测平台赵俊;杨树敏;薛超凡;吴衍青;陈宜方;邰仁忠;1168-1174
量子点光刻技术及其显示应用张萍萍;杨高岭;康果果;石建兵;钟海政;1175-1188
通知·启事
《应用化学》2022年征订启事
1188
研究论文
二氧化碳基聚碳酸环己撑酯电子束光刻胶显影工艺优化陆新宇;马彬泽;罗皓;齐欢;李强;伍广朋;1189-1198
基于卷积运算的嵌段共聚物自组装图像缺陷分析统计方法田昕;赖翰文;刘亚栋;季生象;1199-1208
信息动态
德国2021年颁布新版电池法及其影响
许文峰;1209-1210